半导体无尘手套分类

无尘手套核心关注点：掉粉、离子析出、金属杂质、ESD 防静电、洁净等级、耐化学品，半导体主要分为丁腈、PU、PVC，乳胶尽量少用，按材质、洁净等级、防静电、使用形式划分。

一、按材质划分（最核心）

1、丁腈手套（Nitrile，半导体主流首选）

分为普通丁腈、无尘净化丁腈（百级 / 千级） 1）无粉净化丁腈手套

• 材质：合成橡胶，不含天然乳胶蛋白
• 洁净等级：Class10‑100（ISO5/ISO6 晶圆前道可用），也有 Class1000 用于后道
• 优点： 抗穿刺，耐 IPA、部分酸碱溶剂；低金属离子、低析出，无乳胶蛋白污染；可做 ESD 防静电款；不掉粉，适配晶圆、裸芯片操作。
• 缺点：低温手感偏硬，价格高于 PVC。

✅半导体前道、封装接触芯片岗位，优先无粉净化丁腈。

区分：普通工业丁腈≠无尘丁腈。无尘丁腈是洁净环境漂洗、包装，降低离子残留；普通工业丁腈不能进工艺区。

2、PVC 聚氯乙烯手套

• 洁净等级：一般 Class1000 及以下（ISO7‑8）
• 优点：价格便宜，手感柔软
• 缺点：耐溶剂差，遇有机溶剂容易析出增塑剂（NVR 残留物）；离子析出高于丁腈，不能直接接触晶圆、裸芯片。
• 使用：只用于搬运、辅助作业，不接触器件。

3、PU 聚氨酯涂层手套（针织基布 + PU 浸胶）

重复可水洗型无尘手套，多用于设备运维、组装。

• 优点：可重复使用，透气性好，有 ESD 版本；耐磨。
• 缺点：PU 涂层磨损会掉屑；不能直接触碰硅片，只适合拿治具、工装。

4、天然乳胶手套（Latex）

❌半导体工艺区尽量避免使用

• 缺点：含有天然乳胶蛋白，会造成器件离子污染；部分人皮肤过敏；粉末款掉粉严重。
• 仅极少数老后道工位，现在基本被丁腈全面替代。

二、按洁净等级

1. Class10‑100（百级无尘丁腈）ISO5/ISO6 晶圆前道 经过多道纯水漂洗，低金属离子、低颗粒；手套在洁净车间内封装；用于拿取晶圆盒、硅片周边操作。

关键指标：金属离子（Na、K、Ca、Fe、Cu）含量控制，采购要看检测报告。

2. Class1000（千级）ISO7 万级封装测试 净化丁腈 / PVC，后道封装、测试工位。

3. Class10000（万级）ISO8 十万级辅助区 普通 PVC、PU 手套，搬运物料，不接触产品。

三、防静电 ESD 分类

1. ESD 防静电无尘丁腈手套 表面电阻一般 \(10^{6}～10^{11}\Omega\)，静电耗散；用于静电敏感芯片、晶圆操作，前道、封装核心工位必备。

部分丁腈靠添加导电成分实现防静电，要确认无析出。

2. 普通非防静电手套：容易积聚静电，只能用于非静电敏感辅助岗位。

四、按使用形式

1. 一次性抛弃型：丁腈、PVC，半导体工艺绝大多数用一次性，用完即弃，避免二次污染。
2. 可重复清洗型：PU 浸胶针织手套，设备装配、工装搬运，定期洁净洗涤；禁止接触硅片。
3. 无尘指套：丁腈指套，只套手指；适合精细操作，不适合长时间作业。

五、使用要点 & 禁止项

1. ❌医用检查手套≠无尘手套！医用只考虑卫生，颗粒、离子析出没有管控，严禁半导体工艺区使用。
2. 高等级 ISO5‑6 必须选用漂洗型净化丁腈手套（无粉）ESD 款。
3. 手套破损、沾染化学品立刻更换；禁止手套接触皮肤后再触碰产品。
4. 不可把普通丁腈工业手套直接投入洁净车间。

选型速查表

表格