鞋底清洁机使用后，可以改善到什么水平

鞋底清洁机只处理鞋底的颗粒污染，主要减少人员鞋底带入洁净室的外来微粒，不能消除衣服、头发带来的污染，也不能把鞋底做到 “零颗粒”。

1、能实现的改善效果

1. 去除鞋底缝隙大颗粒、砂粒 无尘靴鞋底纹路会粘地面的灰尘、碎屑、颗粒。湿式毛刷刷洗，可以清除绝大部分＞5μm 大颗粒；这部分颗粒如果带进车间，会被气流扬起，直接造成晶圆颗粒缺陷、机台异物报警。

对比只用粘尘垫：粘尘垫对凹槽、纹路里面嵌住的颗粒清除能力有限，踩过几次粘性下降就失效。

2. 降低鞋底带入的 0.5μm～5μm 微粒数量 经过合格鞋底清洁机清洗 + 吸水，鞋底表面微粒数量可以下降70%‑90% 左右（现场实际测试数据），大幅降低鞋底作为持续颗粒散发源。 进入风淋室之后，风淋主要吹衣服，对鞋底清理能力很弱，鞋底污染本来就是风淋的短板，鞋底清洁机刚好弥补这个短板。

3. 减少洁净室内地面积尘速度 没有鞋底清洁机：鞋底不断带入颗粒，地面会慢慢积尘，增加拖地清洁频次； 使用后：地面发尘来源减少，洁净地面脏污周期变长，地面颗粒本底值更低，减少因为地面扬尘造成的产品不良。

4. 降低粘尘垫消耗成本 高等级车间，如果完全依靠粘尘垫，撕片更换非常频繁；搭配鞋底清洁机，粘尘垫只作为辅助，耗材使用量可以明显下降。

2、客观的局限（很关键，不要期望值过高）

1. 做不到鞋底零颗粒 再优秀的鞋底清洁机，也不可能把鞋底做到完全没有微粒，只能大幅降低负荷；后面仍然需要风淋、车间正压过滤系统共同起作用。

2. 只清洁鞋底！不处理裤脚、鞋面、裤腿、衣服 裤腿、鞋面侧面的灰尘，鞋底清洁机完全处理不到，依旧依靠风淋室吹淋。

3. 设备维护不好，反而变差

• 污水不更换、海绵饱和、毛刷掉丝，不仅没有改善，反而会二次污染鞋底，颗粒会变多。 所以改善效果是建立在：按时换水、更换海绵、毛刷完好的前提下。

3、分洁净等级实际改善目标

• ISO5（百级）晶圆前道 目标：把鞋底外来颗粒负荷压到很低，配合风淋、全套无尘穿戴；鞋底清洁机是重要补充，不能单靠它保证百级洁净度。
• ISO7（万级）封装测试 改善收益最明显，大量减少鞋底带入异物，降低车间悬浮粒子超标风险，减少芯片异物不良。
• ISO8（十万级）辅助区 收益有限，很多项目直接粘尘垫就够用。